CS200 熱式數字氣體質量流量控制器采用傳感器和溫度補償技術，因此產品精度可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環境溫度。同時，產品采用高速控制算法使整個流量控制器的響應時間方面更加岀色。
創新點
VCP的閥控技術
恒功率傳感器
數字傳感器補償技術
應用領域
半導體—集成電路
半導體照明
清潔能源—光伏
清潔能源—氫能燃料電池
特種工業—石油化工
特種工業—光纖
特種工業—真空鍍膜
特種工業—熱處理
生命科學—環境保護
生命科學—食品工業
生命科學—生物工程
生命科學—醫療健康
生命科學—分析儀器
科學研究—實驗器材
技術指標
| 型號 | CS200 | ||||||
| 類號 | A | C | D | ||||
| 流量規格(N?) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | |||||
| 準確度 | ±1.0%S.P.(≥35%F.S.); ±0.35%F.S.(<35%F.S.) | ||||||
| 線性 | ±0.5% F.S. | ||||||
| 重 復 精 度 | ±0.2% F.S. | ||||||
| 響 應 時 間 | ≤ 1 sec | ≤0.8 sec(SEMI E17-0600) | ≤1 sec | ||||
| 閥類型 | Normally Closed or Normally Open | N/A | Normally Closed or Normally Open | N/A | Normally Closed or Normally Open | N/A | |
| 工作壓差范圍 | (0.05~0.35)MPa(≤10SLM)
(0.1~0.35)MPa10SLM
(0.2~0.45)MPa30SLM | <0.02MPa | (0.05~0.35) MPa(≤10SLM)
(0.1~0.35) MPa(>10SLM) | <0.02MPa | (0.05~0.35)MPa(≤10SLM)
(0.1~0.35)MPa(>10SLM) | <0.02MPa | |
| 溫 度 系 數 | Zero:≤±0.05%F.S./C;
Span:≤±0.1%F.S./℃ Flow≤30SLM
≤±0.2%F.S./℃ Flow>30SLM | Zero:≤±0.02% F.S./℃;
Span:≤±0.05%F.S./℃ | |||||
| 工作壓力 | 0.45MPa | ||||||
| 耐壓 | 3MPa | ||||||
| 漏率 | 1×10?¹? Pa·m³/sec He(1×10?atm· cc/sec He) | 1×10?¹¹ Pa·m³/sec He(1×10?¹?atm· cc/sec He) | |||||
| 密 封 材 料 | Viton | Metal | Metal | ||||
| 表面化學成分 | ———— | Cr/ Fe ratio>2.0; CrO thickness >20 Angstroms | ———— | ||||
| 表面粗糙度 | 25 μinch Ra | 10 uinch Ra | 25 μinch Ra | ||||
| 工作環境溫度 | (5~45)℃ | (0~50)℃ | |||||
| 輸 入 信 號 | Digital: RS485 or DeviceNet or ProfiBus or EtherCAT;
Analog:(0~5)VDC
or(4~20)mA or(0~20)mA | N/A | Digital: RS485 or DeviceNet
or ProfiBusTK or EtherCAT ;
Analog:(0~5)VDC
or(4~20)mA or(0~20)mA | N/A | Digital: RS485 or DeviceNet"
or ProfiBus or EtherCAT;
Analog:(0~5)VDC
or(4~20)mA or(0~20)mA | N/A | |
| 輸 出 信 號 | Digital: RS485 or DeviceNet or ProfiBus or EtherCAT male; Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA or (0~20)mA | ||||||
| 電源 | ±8~±16 VDC or+14~+28 VDC or+20.4~+26.4 VDC (EtherCAT) | ||||||
| 電 氣 連 接 | D sub 9 pin s male;D sub 15 pin s male; DeviceNet; ProfiBus or EtherCAT; Analog | ||||||
| 標準接頭形式 | VCR1/4"M;VCO1/4"M;A-sael;
Compression Fittingφ10; Compression Fittingφ6;
Compression Fitting 3/8"; Compression Fittingl/4";
Compression Fittingl/8"; Compression Fittingφ3;
φ6(inner)×1hose;φ5(inner)×1.5hose;φ4(inner)×1hose | VCR1/4"M;
Compression Fittingφ6;
Compression Fittingφ3;
Compression Fittingl/4";
W-seal;C-seal | |||||
| 重量 | 1kg | 0.8kg | 1.2kg | 1kg | 1.2kg | 1kg | |
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