射頻電源是一種能夠產生固定頻率正弦波或脈沖電壓的電源設備，其工作頻率位于射頻范圍內，并具有一定的功率輸出能力。13MHz BG系列射頻電源，工作頻率13.56MHz，可輸出額定功率范圍1000W~5500W。
創新點
CEX功能
選頻/掃頻功能
HALO功能
Ramp功能
應用領域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體顯示
半導體照明
半導體-微機電系統
功率半導體
化合物半導體
技術指標
| 產品型號 | BG1013 | BG1513 | BG3013 | BG3013-F | BG5513 |
| 功率范圍 | 5-1000W | 5~1500W | 30-3000W | 55W~5500W | |
| 頻率 | 13.56MHz±0.005% | ||||
| 供電要求 | 三相187~239VAC，47~63Hz | 三相408~552VAC，47~63Hz | 三相208VAC，50/60Hz； | ||
| 脈沖功能是否支持 | 否 | ||||
| CEX | 支持 | ||||
| 輸出阻抗 | 50Ω | ||||
| 輸出精度 | ≤±1% | ≤±1%或±1.5W |
| ||
| 冷卻方式 | 水冷NPT 3/8 內螺紋 | 水冷1/4NPT接頭+風冷 | 水冷NPT 3/8 內螺紋； | ||
| 供電接頭 | Harting Type Han Q（針） | 航空插頭XCD36F4Z1D1（針） | Harting HAN Modular 40A series | Harting連接器插座HBX2; | |
| 輸出接頭 | HN FEMALE | 7/16 FEMALE； | |||
| 尺寸（L×W×H） | 430×216×132.5 | 440.5×216×132.5 | 447.5×482.6×132.5 | 464.4×216×132.5 | |
| 通訊方式 | 通訊方式RS232、25pin模擬量 | RS232、Analog（15 pin female）、DeviceNet | 通訊方式RS232、25pin模擬量 | ||
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