D07-9 熱式氣體質量流量控制器/流量計根據毛細管傳熱溫差量熱法原理,設置模擬量程,不因溫度和壓力的波動而失準,無需進行溫度、壓力補償即可實現對各種氣體精準測量和控制。D07-9系列產品是華丞電子研發高精度、快速響應的模擬產品。
查看詳細介紹CS210 熱式數字氣體質量流量控制器是一款數模兼容的熱式原理產品,可廣泛應用于光伏、燃料電池、真空等行業,用于控制工藝制程的氣體流量,具有高精度、高穩定性、低零漂等特點。
查看詳細介紹CS200 熱式數字氣體質量流量控制器采用傳感器和溫度補償技術,因此產品精度可以達到設定值1%以內,并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環境溫度。同時,產品采用高速控制算法使整個流量控制器的響應時間方面更加岀色。
查看詳細介紹CS230A產品是華丞電子研發的中大流量產品,流量可達300SLM氮氣,并可實現數字/模擬控制模式;產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加出色,最多2秒的高速響應將使用過程中產生的系統誤差最小化,流量更加精準,產品具備低零漂、低溫漂性能,產品支持 DeviceNet,RS485通訊協議。
查看詳細介紹CS100產品是基于華丞電子CS系列產品技術平臺開發,在擁有恒功率傳感器技術,數字傳感器平衡技術,VCP線控制技術的基礎上,采用客戶定制化設計,客戶可根據需要選用符合自身需求的產品,同時其的客戶零點補唯功能(CGC),能夠解決由于客戶地線連接導致的MFC精度不準問題,使產品更好的適應客戶環境。
查看詳細介紹CS316是專為關鍵半導體制造工藝設計的壓力不敏感型質量流量控制器,采用了壓力補償技術,減少前端壓力變化對瞬時流量的影響,從而保證了產品的穩定性和準確性。產品各項技術指標均嚴格按照SEMI標準,支持W型,C型IGS氣路系統。
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