CS330C、D型 MFC是全金屬密封大流量的數(shù)字型產(chǎn)品，為氣體質(zhì)量流量的控制、測量提供了高準確度及高可靠性。該型產(chǎn)品支持提供數(shù)字信號，0~5V模擬信號，4~20mA模擬信號，可以使用雙電源（±8~±16VDC）或單電源(+14~+28 VDC)。
創(chuàng)新點
VCP的閥控技術(shù)
恒功率傳感器
數(shù)字傳感器補償技術(shù)
應用領域
半導體—集成電路
清潔能源—光伏
特種工業(yè)—真空鍍膜
科學研究—實驗器材
技術(shù)指標
| 型號 | CS330 | |||
| C | D | |||
| 流量規(guī)格(N?) | (100,200) SLM | |||
| 準確度 | ±1.0% S.P.(>35% F.S.) ±0.35% F.S.(≤35% F.S.) | |||
| 線性 | ±0.5% F.S. | |||
| 重 復 精 度 | ±0.2% F.S. | |||
| 響 應 時 間 | ≤1sec | |||
| 閥 類型 | Normally Closed | No Valve | Normally Closed | No Valve |
| 工作壓差范圍 | 400~600KPa | <0.03 MPa | 400~600KPa | <0.03 MPa |
| 溫 度 系 數(shù) | Zero:≤±0.02%F.S./℃; Span:≤±0.1% F.S./℃ | |||
| 工作壓力 | 0.6 MPa | |||
| 耐壓 | 1 MPa | |||
| 零漂 | <0.6%F.S. per year without autozero | |||
| 漏率 | 5x10?¹²Pa·m³/sec He (5x10?¹¹atm.cc/sec He) | |||
| 密 封 材 料 | Metal | |||
| 工作環(huán)境溫度 | (0~50) ℃ | |||
| 輸 入 信 號 | Digital: RS485/DeviceNet/ EtherCAT* Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA | N/A | Digital: RS485/DeviceNet/EtherCAT* Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA | N/A |
| 輸 出 信 號 | Digital: RS485 or DeviceNet or EtherCAT Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA | |||
| 電源 | ±8~±16 VDC or+14~+28 VDC(400mA) | |||
| 表面化學成分 | Cr/ Fe ratio>2.0 CrO thickness >20 Angstroms | |||
| 標準接頭形式 | VCR 1/2"M | |||
| 電源接頭形式 | 9 pin male sub-D; 15 pin male sub-D;DeviceNet male; EtherCAT* male | |||
| 表面粗糙度 | 5 μinch Ra | 25 μinch Ra | ||
| 重量 | 1.8kg | 1.6kg | 1.8kg | 1.6kg |
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