CS312 質量流量控制器采用新型低零漂傳感器和溫度補償技術,產品精度可達到設定值1%以內,低溫度系數可保證產品適應不同的環境溫度,可廣泛應用于半導體、光伏、平板顯示等行業的工藝設備中,精確控制工藝氣體流量,具有低零漂、高精度、快響應、耐腐蝕等特點。
創新點
恒功率傳感技術
電化學拋光技術
應用領域
半導體—集成電路
半導體照明
特種工業—真空鍍膜
科學研究—實驗器材
技術指標
技術名稱 | CS312 |
流量規格(N?) | (0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM |
準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional) ±0.35% F.S. (<35% F.S.) (±0.24% F.S. (<30% F.S.) optional) |
漏率 | ≤5×10?¹² Pa·m³/s |
響 應 時 間 | ≤0.8 sec |
工作壓差范圍 | 0.05~0.35MPa流量規格≤10SLM 0.15~0.35MPa 10SLM<流量規格≤30SLM 0.30~0.50MPa 30SLM<流量規格≤50SLM |
溫 度 系 數 | 零點: ≤±0.02%F.S./℃; 調節時: ≤±0.05%F.S./℃ |
重 復 精 度 | ±0.2% F.S. |
線性 | ±0.5% F.S. |
耐壓 | 3.5MPa |
密 封 材 料 | 金屬密封 |
工作環境溫度 | (0~50) ℃ |
輸 入 信 號 | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
輸 出 信 號 | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
電源 | ±8~±16 VDC (雙極)或+14~+28 VDC(單極) |
標準接頭形式 | VCR1/4陽接頭;1.125"C型密封接頭;1.125"W型密封接頭 |