FV100 汽化器是一種將前驅體液體霧化形成液滴氣溶膠，然后流入高效熱交換器形成蒸汽設備。以提供基本上不含顆粒污染物的高純度氣體或蒸汽混合氣，用于半導體薄膜沉積和工業涂層應用的CVD、PECVD、ALD薄膜沉積。
創新點
汽化效率高
節省空間
半導體-集成電路
??????
| 型號 | FV100 | type |
| 尺寸 | mm×mm×mm | Size |
| 重量 | 1.3kg | Weight |
| 接頭 | 進氣：1/4”VCR; 進液：1/8”VCR×2；出口：1/2”VCR | Joint |
| 材質 | 316L | Mterial |
| 漏率 | <1×10-8 scc/sec Helium | Lake rate |
| 加熱器規格 | 208 VAC, 60Hz, 400W | Heater |
| 載氣 | 惰性氣體 | Carrier gas |
| 液體流量范圍 | 0-10g/min(TEOS) | Flow range |
| 系統可承受壓力 | 1.0MPa | Position resolution |
| 溫度傳感器種類 | Type K Thermocouple | Temperature sensor |
| 安裝位置 | any | Mounting position |
| 耐壓 | 1.0 Mpa | Pressure resistance |
打印當前頁
發郵件給我們：zhaoqiannan@sevenstar.com.cn