FV100 汽化器是一種將前驅(qū)體液體霧化形成液滴氣溶膠,然后流入高效熱交換器形成蒸汽設備。以提供基本上不含顆粒污染物的高純度氣體或蒸汽混合氣,用于半導體薄膜沉積和工業(yè)涂層應用的CVD、PECVD、ALD薄膜沉積。