VCR氣路系統主要采用VCR密封形式，整體氣路系統由質量流量控制器、隔膜閥、調壓閥、壓力傳感器、過濾器及不銹鋼管件接頭等部件組合而成，能夠根據客戶需求提供多種解決方案。
創新點
在設備工藝管路中，實現了對流體的輸送、混合、調試、控制（包括開關、減壓、過濾、分流、流量控制等）。
設備工藝管路中氣體混合過程中的安全保障。
設備客戶工藝設計解決方案。
應用領域
半導體—集成電路
半導體照明
清潔能源—光伏
特種工業—光纖
特種工業—真空鍍膜
生命科學—分析儀器
科學研究—實驗器材
技術指標
| 型號 | 標 準 |
| 零部件入庫檢查 | 形狀與尺寸與圖紙一致，實物型號與部件表的型號一直 |
| 安裝標準 | 各閥門儀表流向、安裝位置與圖紙要求一致，管道平整 |
| 保壓 | 12小時壓降≤1% |
| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m³/S |
| 焊接件標準 | 無明顯焊疤，焊接部位表面無傷痕、臟污、燒痕去除 |
| 焊道偏離范圍小于壁厚 20%以內、焊道勻直、無明顯外凸內凹及錯位現象 | |
| 外觀標準 | 外觀整潔，各部位無明顯磕傷 |
| 元器件標簽、接口方式等與圖紙一致 | |
| 目視檢查氣柜內部有無腐蝕、霧化或變色等信息 |
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