卡套氣路系統可根據客戶需求提供定制化氣體輸送系統,包括電磁閥、截止閥、干燥器、過濾器、接頭等必要部件。
VD-03擴散器采用粉末冶金工藝制備的金屬多孔材料濾芯。濾芯在燒結過程中形成的大量微米級孔道能實現氣體勻化和層流化,保證氣體的通過性,達到較短的Vent-up時間。同時,這種微觀結構強化了對亞微米顆粒吸附、擴散等過濾效應,具有過濾最小粒徑0.0015μm顆粒的能力。擴散器殼體可以選用316L VV材料并進行EP處理,擴散器耐腐蝕性得到進一步提高。的焊接工藝保證了多孔材料濾芯與殼體的牢固結合,使擴散器整體具有高強度。
VCR氣路系統主要采用VCR密封形式,整體氣路系統由質量流量控制器、隔膜閥、調壓閥、壓力傳感器、過濾器及不銹鋼管件接頭等部件組合而成,能夠根據客戶需求提供多種解決方案。
IGS氣路系統是專為半導體領域研發的新型氣路輸送解決方案。它采用氣體直路方向運輸設計,體積小巧,便于安裝與維護,滿足零部件小型化需求。華丞電子憑借多年研發經驗,賦予其高密封性、高精度和高集成度特點,并依托特殊氣體實驗室,確保特殊氣體控制的高準確性,這也是未來IGS氣路系統的發展方向。