射頻匹配器是一種用于使負載阻抗與射頻電源的阻抗匹配，減少反射功率，使傳輸功率達到的設備。不同的匹配器，被設計成適用于單個頻率或多個頻率段，以滿足不同的應用場景。
創新點
雙頻同步控制匹配算法
寬頻射頻傳感器
高可靠性接口技術
應用領域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體顯示
半導體照明
半導體-微機電系統
功率半導體
化合物半導體
技術指標
| 功率范圍 | 10W-45kW |
| 頻率范圍 | 400kHz/2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/60MHz雙頻組合 |
| 匹配速度 | ≤1s(合適預設) or 3s |
| 匹配精度 | ≤1%*前向功率 or 5W |
| 信號類型 | 連續波，脈沖波（SLP/DLP/MLP） |
| 通訊接口 | RS232/EtherCAT |
| 供電電壓 | 24V DC |
| 冷卻類型 | 強制風冷 |
| 阻抗范圍 | 根據客戶需求定制 |
| 機械尺寸 | 根據客戶需求定制 |
| 接口形式 | 根據客戶需求定制 |
| 應用產品 | Etch, PECVD |
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