D07-11 熱式氣體質量流量控制器/流量計根據毛細管傳熱溫差量熱法原理，設置模擬量程，不因溫度和壓力的波動而失準，無需進行溫度、壓力補償即可實現對各種氣體精準測量和控制。D07-11系列產品為華丞電子研發的高壓產品，耐壓10MPa。
創新點
VCP的閥控技術
恒功率傳感器
應用領域
特種工業—石油化工
特種工業—光纖
特種工業—真空鍍膜
特種工業—熱處理
生命科學—環境保護
生命科學—食品工業
生命科學—生物工程 生命
科學—醫療健康
生命科學—分析儀器
科學研究—實驗器材
技術指標
| 型號 | D07-11C |
| 流量規格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
| ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | |
| 流量控制范圍 | 2~99% of F.S. |
| 準確度 | ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S.) |
| 線性 | ±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S.) |
| 重復精度 | ±0.2 %F.S. |
| 響應時間 | ≤ 10 sec |
| 工作壓差范圍 | ≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa (29~116psid) |
| ＞10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa (29~87psid) | |
| 工作壓力 | 10 MPa (1450psig) |
| 耐壓 | 10 MPa (1450psig) |
| 工作環境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
| 輸入信號 | 0 V ~ +5.00 V |
| (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | |
| 輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V |
| (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | |
| 電源 | +15 V 50 Ma; -15V 200 mA |
| 重量 | 1.2kg |
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