PT100 壓力變送器利用壓阻式壓力傳感器,來檢測介質的壓力變化,并將壓力轉換為電信號輸出;可測量氣路盤、工藝腔和傳輸腔等位置的壓力變化;廣泛應用于集成電路、封裝、半導體照明、功率半導體、化合物半導體等領域。
創(chuàng)新點
采用32位MCU進行設計
數(shù)字電路控制
兩路壓力報警信號輸出
應用領域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體照明
功率半導體
化合物半導體
技術指標
型號 | PT100 |
量程 | -14.7~15psi/-14.7~100psi/0~17.5psi和-0.1~1MPa |
精度 | ±0.5% F.S. |
漏率 | <1x10-9atm.cc/sec He |
溫漂系數(shù) | 0.1 %F.S./℃ |
運行溫度范圍 | 0 ~ 80℃ |
耐壓極限 | 額定壓力的2倍 |
爆破壓力 | 額定壓力的5倍 |
工藝側材料 | 316L SEMI F20/鎳基合金 |
供電電壓 | 24V±10%VDC |
輸出 | 0~10V/4-20mA |
濕節(jié)點輸出規(guī)格 | 2路PNP或NPN(24V/高阻) |
電氣接口 | Molex1625-6P1/散線 |
機械接口 | 1.125“C-seal/1.125“W-seal/4VCR/KF16 |
使用壽命 | >1×106 cycles |
C E 認 證 | 設計滿足EN61326-1 |