PC200 壓力控制器用于對氣體的壓力進(jìn)行精密控制和測量。主要應(yīng)用于與半導(dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等領(lǐng)域。
創(chuàng)新點
支持雙電源寬范圍供電
模擬電壓四種組合形式
上下游控壓
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
半導(dǎo)體-顯示
生命科學(xué)-分析儀器
科學(xué)研究-實驗器材
技術(shù)指標(biāo)
| 型號 | PC200 |
| 壓力類型 | 絕壓、表壓 |
| 控制壓力的滿量程 | 絕壓：1000Torr、2000Torr； 300Kpa、3000mbar 表壓：500Kpa |
| 耐壓 | 3MPa |
| 閥口滿量程流量 | 200sccm; 1、2、4、5、10、15、50SLM |
| 控制方式 | 上游、下游 |
| 溫度系數(shù) | Zero: ±0.02% of F.s./℃；Span: ±0.04% of Reading/℃ |
| 壓力分辨率 | 0.1 Torr |
| 壓力控制精度 | ±0.5% of F.S. |
| 響應(yīng)時間 | <1.0 S |
| 工作溫度范圍 | 5℃~50℃ |
| 機(jī)械接口 | VCR1/4"陽接頭、VCR3/8"陽接頭 |
| 閥類型 | 常閉、常開 |
| 外漏 | <5x10-12(Pa.m3/s He) |
| 內(nèi)漏 | <1.0% of 閥口滿量程流量 (閥關(guān)閉時，進(jìn)氣端為25psig，出氣端為大氣) |
| 供電電源 | +15~+24VDC(單級)、±15VDC(雙極，僅支持DB-9針接口) |
| 電氣接口 | DeviceNet接頭、DB-9針、EtherCAT接頭 |
注意：
氣體壓力控制器出廠通常用氮氣(N2)標(biāo)定。
氣體壓力的單位規(guī)定為：Torr (托); mbar(毫巴); KPa (千帕);
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度--273.15K（0℃ )；氣壓--101325 Pa（760mm Hg）
在華丞電子 PC 產(chǎn)品中，單位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，單位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。
F.S.(Full Scale)：滿量程值； S.P.(Set Point)：設(shè)定點值
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