BV300 蝶閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示、晶體硅太陽能和工業(yè)制程中,用于控制腔室的下游壓力,可定制化解決苛刻工藝條件下快速控壓需求。
BV200 蝶閥是數(shù)字型壓力控制類閥門產(chǎn)品,為氣體壓力的控制提供了高準(zhǔn)確度及高可靠性。該型產(chǎn)品支持?jǐn)?shù)字信號控制,使用單電源+24 VDC供電。
BV100 蝶閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,平板顯示,晶體硅太陽能和工業(yè)制程中,用于控制腔室的下游壓力。
DP100 壓差計具有的準(zhǔn)確性和重復(fù)性,可用于各種不同應(yīng)用的工業(yè)和電子控制系統(tǒng)中,本產(chǎn)品以超薄膜片為感壓元件,可精確測量參考腔室和測試腔室之間的氣體壓力差值。
CVS100 真空開關(guān)為真空設(shè)備、大氣開關(guān)和真空壓力過程提供準(zhǔn)確可靠的保護。應(yīng)用于半導(dǎo)體加工工具、真空泵、壓縮機、鼓風(fēng)機、醫(yī)療設(shè)備和機床等。
PC210 壓力控制器是數(shù)字型壓力控制產(chǎn)品,為氣體壓力的控制、測量提供了高準(zhǔn)確度及高可靠性。模擬型產(chǎn)品可同時支持?jǐn)?shù)字信號和模擬信號,可使用雙電源±15VDC 供電。