CVS100 真空開關為真空設備、大氣開關和真空壓力過程提供準確可靠的保護。應用于半導體加工工具、真空泵、壓縮機、鼓風機、醫療設備和機床等。
創新點
壓力實時測量，觸點可設置
應用領域
半導體-集成電路
特種工業-石油化工
生命科學-醫療健康
科學研究-實驗器材
技術指標
| 型號 | CVS100 |
| 技術指標 | CVS電容薄膜真空開關技術指標 |
| 測量范圍 | 絕壓：10~1000Torr |
| 允許壓力 | 45Psi |
| 綜合精度 | ±0.5%F.S. |
| 電源電壓 | DC24V±10% |
| 電源電流 | Max 50mA，通常20mA以下 |
| 輸出信號 | 繼電器輸出(1NO，1NC) |
| 設定輸出 | 2觸點/遲滯可設置 |
| 工作溫度 | 0～50℃ |
| 材料 | 鋁、鎳鉻鐵合金、不銹鋼 |
| 密封方式 | 焊接 |
| 氣密性 | <1 x 10-11 atm.cc/s |
| 接口 | 4VCR male、4VCR female、NW16-KF（可定制） |
| 認證 | 通過CE認證 |
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