DS312 是一款控制精度高、相應速度快的質量流量控制器（MFC），主要用于刻蝕機等對機器性能要求高的半導體機臺。
創新點
基于PTC（Pressure，Temperature，Channel）的壓力傳感技術
全新的壓電閥結構原理技術
高精度的壓電閥驅動技術
符合SEMI要求的材料表面處理技術
應用領域
半導體—集成電路
半導體—微機電系統
功率半導體
化合物半導體
半導體—封裝
半導體顯示
半導體照明
技術指標
| 型號 | DS312 |
| 流量規格 | 50~10000sccm （DS312C） |
| 50~5000sccm （DS312W） | |
| 閥類型 | 常閉 |
| 進口壓力 | 240～450kPaA 流量規格≤5SLM |
| 350～450kPaA 流量規格＞5SLM | |
| 出口壓力 | ≤3.3kPaA （DS312C） |
| ≤13.3kPaA （DS312W） | |
| 耐壓 | 1Mpa |
| 工作溫度 | 10℃ ~ 45℃ |
| 外漏 | 1 x 10-11 Pa·m³ / sec He |
| 精度 ( 包含線性、標定系統精度等) | <= ±1%S.P. （>=10%F.S. ） |
| 重復精度 | <= ±0.3%S.P. （>=10%F.S. ） |
| 響應時間（流量達到設定點的±2%內） | <= 0.5 sec |
| 標準電源接頭 | DeviceNet接頭 |
| 通訊協議 | DeviceNet |
| 標準氣路接頭 | IGS-C, IGS-W |
| 接氣部分材質 | F20 |
注：
1. F.S.： 滿量程full scale
2. kPaA：kPa，絕壓
打印當前頁
發郵件給我們：zhaoqiannan@sevenstar.com.cn