EPC100 反應腔室壓力控制器

簡要描述：

反應腔室壓力控制器(Exhaust Pressure Controller，簡稱 EPC)用于對氣體的壓力進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。

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創新點

基于機械氣浮活塞的多力平衡技術

凈化間壓力、重力、彈簧張力及工藝壓力，四種力作用于活塞以保持恒定的工藝壓力，對于某一壓力設定點而言，合力平衡僅取決于工藝過程壓力，從而實現排氣波動快速調節。

帶有軟遲滯補償的電機變頻控制技術

設定點不變時，活塞可以自我調節控制，設定點變化時，電機閉環控制。閉環控制過程中，根據實際壓力與設定壓力的差值，分段制定不同的閾值進行電機變頻控制，越近設定點電機運動越緩慢，從而達到壓力穩定控制。

氮氣反沖防腐蝕設計技術

結合氣流分層原理“以氣控氣"，利用高壓氮氣對低壓工藝氣體反沖，形成氣體保護層以阻止腐蝕氣體外溢，避免造成壓傳器件腐蝕，從而提高產品使用壽命。

應用領域

半導體/集成電路

半導體/封裝

功率半導體

化合物半導體

清潔能源/光伏

科學研究/實驗器材

技術指標

注意：

氣體壓力控制器出廠通常用氮氣(N₂)標定

氣體壓力的單位規定為：Torr(托)；mbar(毫巴) ；mmH2O (毫米水柱)

標準狀態規定為：溫度--273.15K（0℃ )；氣壓--101325 Pa（760mm Hg）

在華丞電子 PC 產品中，單位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，單位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同

F.S.(Full Scale)：滿量程值； S.P.(Set Point)：設定點值