RPS電源是一款小型射頻電源，專用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，在氧化物、氮化物清洗工藝中有著廣泛的應(yīng)用。RPS電源為模擬系統(tǒng)控制，可通過自調(diào)頻系統(tǒng)進行功率輸出調(diào)節(jié)，輸出功率以電流反饋的形式進行采集。電源自帶功率輸出對插接口，可穩(wěn)定輸出48KHz-92KHz的高壓正弦波，并維持等離子體的穩(wěn)定性。
創(chuàng)新點
具備電流控制功能
具備輸出電流監(jiān)控功能
具備互鎖功能
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
半導(dǎo)體-封裝
半導(dǎo)體顯示
半導(dǎo)體照明
半導(dǎo)體-微機電系統(tǒng)
功率半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
技術(shù)指標
| 型號 | BRT0150L | BRT0150LC |
| 電源輸入 | 220V±10%，50/60Hz | |
| 輸出類型 | 正弦波 | |
| 輸出頻率 | 48KHz-92KHz | |
| 輸入輸出隔離 | >500M | |
| 輸出功率精度 | 2W或2% | |
| 輸出電流 | 300mA max | |
| 互鎖調(diào)節(jié) | 不可調(diào) | 可調(diào) |
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