ESC DC Power即ESC直流電源,是一種專用于靜電卡盤(ESC)的直流高壓靜電電源,本產品為雙極輸出電源,可同時提供正和負直流電壓,通過專用電纜和濾波電路,連接到靜電卡盤直流電極上,為靜電卡盤提供產生吸力的直流高壓。
ESC DC Power即ESC直流電源,是一種專用于靜電卡盤(ESC)的直流高壓靜電電源,本產品為單極輸出電源,可同時提供正和負直流電壓,通過專用電纜和濾波電路,連接到靜電卡盤直流電極上,為靜電卡盤提供產生吸力的直流高壓。
RPS電源是一款小型射頻電源,專用于半導體領域,在氧化物、氮化物清洗工藝中有著廣泛的應用。RPS電源為模擬系統控制,可通過自調頻系統進行功率輸出調節,輸出功率以電流反饋的形式進行采集。電源自帶功率輸出對插接口,可穩定輸出48KHz-92KHz的高壓正弦波,并維持等離子體的穩定性。