ESC DC Power即ESC直流電源，是一種專用于靜電卡盤（ESC）的直流高壓靜電電源，本產品為雙極輸出電源，可同時提供正和負直流電壓，通過專用電纜和濾波電路，連接到靜電卡盤直流電極上，為靜電卡盤提供產生吸力的直流高壓。
創新點
具備極性反轉、放電功能
具備監測功能
具備輸出保護機制
應用領域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體顯示
半導體照明
技術指標
| 型號 | BEC0402 | BEC0301 | BE1200/BEC1200 |
| 電源輸入 | 24VDC，1A | 24VDC，2A | |
| 輸出電壓 | 0~±2000Vdc（ 4000Vdc） | 0~±1500Vdc（ 3000Vdc） | 0~±6000Vdc（ 12000Vdc） |
| 輸出電壓精度 | 設置值 1000Vdc-4000Vdc 范圍內，誤差 1%以內（of set point） 設置值<1000Vdc，誤差實際值=設定值±10Vdc | 設置值 1000Vdc-3000Vdc 范圍內，誤差 1%以內（of set point）； 設置值<1000Vdc，誤差實際值=設定值±10Vdc; | 設置值 1000Vdc~12000Vdc 范圍內，誤差 1%以內（ of setpoit） |
| 輸出電流 | 0~10V：0~2mA max |
| 0~10V : 0~1mA max |
| 輸出電壓線性誤差 | 30Vdc-4000Vdc， 1%以內 | 30Vdc-3000Vdc， 1%以內 | 1000Vdc-12000Vdc， 1%以內 |
| 通訊方式 | 手動、 25pin I/O， RS232 | ||
| CT(Center-Tap) | 可檢測/可設置，0-10V:0Vdc~-2000Vdc | 可檢測/可設置， 5-10V: -1000Vdc~+1000Vdc | 無 |
| 其他說明 | 升級雙極串口設置CT功能 | 升級功能 （1）新增VR+/VR-指令:允許/禁用極性反轉模式 （2）新增SCT指令:設置CT值（3）新增限流保壓功能 | BEC1200支持雙正雙負功能 |
| HV對地隔離 | ＞10M | ||
| 輸入輸出隔離 | ＞500M | ||
| 極性反轉 | 支持 | ||
| 放電功能 | 支持 | ||
| 保護機制 | 過電壓保護、過電流保護 | ||
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