ESC DC Power即ESC直流電源，是一種專用于靜電卡盤（ESC）的直流高壓靜電電源，本產品為單極輸出電源，可同時提供正和負直流電壓，通過專用電纜和濾波電路，連接到靜電卡盤直流電極上，為靜電卡盤提供產生吸力的直流高壓。
創新點
具備極性反轉、放電功能
具備監測功能
具備輸出保護機制
應用領域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體顯示
半導體照明
技術指標
| 型號 | BE0400 |
| 電源輸入 | 24VDC，1A； |
| 輸出電壓 | 單極 4000Vdc |
| 輸出電流 | 0~10：0~2mA max |
| 輸出電壓線性誤差 | 30Vdc~+4000Vdc，1%以內-30Vdc~-4000Vdc，1%以內 |
| 通訊方式 | 手動、25pin I/O，RS232 |
| CT(Center-Tap) | 無 |
| HV 對地隔離 | ＞10M |
| 輸入輸出隔離 | ＞500M |
| 極性反轉 | 支持 |
| 放電功能 | 放電時，HV+或HV-端對地電阻為200kΩ±5% |
| 保護機制 | 過電壓保護可設置電流限制值 |
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