BV100 蝶閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，平板顯示，晶體硅太陽能和工業(yè)制程中，用于控制腔室的下游壓力。
創(chuàng)新點
雙路自匹配壓力傳感技術(shù)
L-V-P壓力控制技術(shù)
伺服驅(qū)動技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
半導(dǎo)體顯示
技術(shù)指標(biāo)
| 型號 | BV100 |
| 濕度 | 0~95%RH |
| 接口類型 | D-sub female，DA15 |
| 信號電壓 | 0 ~ 10VDC 線性壓力 |
| ADC分辨率 | 0.1 mV |
| 采樣時間 | 2ms |
| 供電電壓( 輸出 ) | +24 VDC / 1.5A max. |
| 執(zhí)行器 | 步進電機 |
| 電機分辨率 | 12800( 90°） |
| 控壓精度 | 5 mV 或設(shè)定點的0.1%，取大值 |
| 防護等級 | IP 40 |
| 通道內(nèi)徑 | 40mm/50mm/63mm/80mm/100mm |
| 閥板開關(guān)時間 | 0.2s |
注意：
蝶閥出廠通常用電壓對傳感器信號進行標(biāo)定
氣體壓力的單位規(guī)定為: Torr (托)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 溫度 -- 273.15K (0℃) ; 氣壓 -- 101325 Pa(760mm Hg)
F.S.(Full Scale): 滿量程值; S.P.(Set Point): 設(shè)定點值
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