BV200 蝶閥是數字型壓力控制類閥門產品，為氣體壓力的控制提供了高準確度及高可靠性。該型產品支持數字信號控制，使用單電源+24 VDC供電。
創新點
雙路自匹配壓力傳感技術
自學習功能技術
L-V-P壓力控制技術
伺服驅動技術
應用領域
半導體-集成電路
功率半導體
技術指標
| 型號 | BV200 | |
| 材質 | 閥體/閥板 | 鋁合金6061/不銹鋼613L |
| 軸/閥板螺釘 | 不銹鋼316L | |
| 軸承套筒 | lglidur X | |
| 軸承密封圈 | 環境端 | FKM |
| 真空端 | FKM | |
閥體漏率 | 不銹鋼材質 | 1×10E-9 mbar ·L/s |
| 通信接口 | RS485(D-sub female,DB25)或DeviceNet(DNET航空插頭) | |
| 供電口 | 接口類型 | D-sub male,DA15 |
| 電壓 | +24 VDC | |
功耗 | 控制/驅動 | 40 W |
| 使用環境 | 溫度 | 0~50攝氏度，建議在35度以下使用 |
| 濕度 | 0~95%RH | |
| 規接口參數 | 接口類型 | D-sub female,DA15 |
| 信號電壓 | 0～10VDC線性壓力 | |
| ADC分辨率 | 0.1 mV | |
| 采樣時間 | 2ms | |
| 供電電壓(輸出) | +24 VDC/1.5A max. | |
| 執行器 | 步進電機 | |
| 電機分辨率 | 12800(90°) | |
| 控壓精度 | 5 mV或設定點的0.1%,取大值 | |
| 防護等級 | IP 40 | |
| 通道內徑 | 40mm/50mm/63mm/80mm/100mm | |
| 閥板開關時間 | 0.2s | |
注意：
蝶閥出廠通常用電壓對傳感器信號進行標定
氣體壓力的單位規定為：Torr(托)；mbar(毫巴)
標準狀態規定為：溫度--273.15K（0℃ )；氣壓--101325 Pa（760mm Hg）
在華丞電子 PC 產品中，單位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，單位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同
F.S.(Full Scale)：滿量程值； S.P.(Set Point)：設定點值
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