LPT100 液體壓力傳感器是一款為半導體技術發展需求而研制的高精度耐腐蝕的產品，主要應用于集成電路濕法制程中的CMP、清洗等設備上。
創新點
基于壓力信號采集和轉換技術
抗腐蝕傳感器結構設計
半導體級別潔凈度工藝
應用領域
半導體-集成電路
技術指標
| 型號 | LPT100 | |
| 材質 | 接液部分 | 本體：PTFE |
| 傳感器及接頭：PFA | ||
| 密封：全氟O圈 | ||
| 非接液部分 | PE，PP，PVDF等 | |
| 線纜 | FEP或AFPF包裹 | |
| 物理參數 | 壓力范圍 | 0-30，0-60，0-100（psig） |
| 過載壓力 | 1.5*F.S. | |
| 接口類型 | 單端式 | |
| T型 | ||
| 機械接頭 | 1/4、3/8、1/2 Flared | |
| 1/4MNPT | ||
| 電氣參數 | 供電電壓 | +24VDC |
| 輸出信號 | 4-20mA, 0-5V或0-10V | |
| 精度 | 1% F.S. | |
| 工作溫度 | 10-60℃ | |
| 線纜長度 | 1.5M | |
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