PS100 電容薄膜真空規具有測量精度高、重復性好等優點，被廣泛應用在半導體、光伏、真空、航空航天等裝備制造領域，本產品以超薄膜片為感壓元件，可精確測量工藝腔室或其它真空環境下的氣體壓力。
創新點
壓力實時測量
加熱功能
設定壓力/溫度指示
應用領域
半導體-集成電路
清潔能源-光伏
技術指標
| 型號 | PS100 | |
| 指標 | 單位 | 規格參數 |
| 量程Full Scale Ranges | Torr | 0.1 ~1000等（可定制） |
| 精度Accuracy | % of reading | ±0.15% ~ ±1% |
| 分辨率 Resolution | % of F.S. | 0.00% |
| 零點溫漂系數Zero Temperature Coefficient | % of F.S./℃ | 0.02%(0.03% for <10Torr) |
| 溫漂系數Span Temperature Coefficient | %of reading/℃ | 0.04% |
| 運行溫度范圍Ambient Operating Temperature | ℃ | 15 ~ 40℃ |
| 加熱溫度 Sensor Heated Temperature | ℃ | 不加熱、45℃~200℃ |
| 預熱時間 Warm-up Time | h | 4 |
| 耐壓極限 Overpressure Limit | Psia | 45（量程 >1Torr) 30 (其它） |
| 工藝側材料Materials Exposed to Process Gases （excluding optional fittings） | / | 鎳基合金等 |
| 供電電壓Input Power Required | VDC | ±15V±10% DC 24V±10% DC |
| 輸出電壓Output Signal | VDC | 0 ~ 10V |
| Trip Relay規格Trip Relay Specifications | / | 2個 |
| 電氣接口Electrical Connectors | / | D型15針陽接頭、DeviceNet接頭、EtherCAT接頭 |
| 腔體檢測接口Connection Fittings | / | VCR1/2〞母接頭、VCR1/4〞母接頭、NW16-KF、NW25-KF 等 |
| 安裝方式 Install type | / | 豎放,水平 |
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