VG200 電容薄膜真空規(guī)具有測(cè)量精度高、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)。被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、光伏、真空、航空航天等裝備制造領(lǐng)域，本產(chǎn)品以超薄膜片為感壓元件，可精確測(cè)量工藝腔室或其它真空環(huán)境下的氣體壓力。
創(chuàng)新點(diǎn)
高溫設(shè)計(jì)
定制化解決方案
快響應(yīng)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
清潔能源-光伏
特種工業(yè)-真空鍍膜
生命科學(xué)-分析儀器
科學(xué)研究-實(shí)驗(yàn)器材
技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | VG200 |
| 工作環(huán)境溫度范圍 | 15℃~50℃ |
| 存儲(chǔ)環(huán)境溫度范圍 | -20℃~80℃ |
| 存儲(chǔ)環(huán)境濕度 | ≤95% |
性能參數(shù)
精度 | VG202（不加熱） | 0.15% of reading |
| VG204（45℃） | ≥1Torr 0.15% of reading | |
| VG210（100℃） | ≥1Torr 0.15% of reading | |
| VG215（150℃） | 0.5% of reading | |
| VG216（160℃） | 0.5% of reading | |
| VG220（200℃） | 0.5% of reading | |
| 量程 | 0.1 Torr ~1000 Torr | |
| 分辨率 | 0.001%（1X10-5）of FS | |
| 溫度漂移系數(shù)（Zero） | ≥1Torr 0.002% FS/℃ | |
| 溫度漂移系數(shù)（Span） | 0.02% Reading/℃ | |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ＞1Torr 20msec | |
| 加熱溫度 | 不加熱、45℃、100℃、150℃、160℃、200℃ | |
| 預(yù)熱時(shí)間 | 4小時(shí) | |
| 耐壓極限 | ＞1Torr 45psia（310kpa） | |
電氣參數(shù)
供電電壓 | ±15V±10% VDC 或者 |
| 輸出信號(hào) | 0-10V 或者 |
| 電氣接口 | DB15 male、DeviceNet、Ethercat |
打印當(dāng)前頁
發(fā)郵件給我們：zhaoqiannan@sevenstar.com.cn