PT100 壓力變送器利用壓阻式壓力傳感器，來檢測介質(zhì)的壓力變化，并將壓力轉(zhuǎn)換為電信號輸出；可測量氣路盤、工藝腔和傳輸腔等位置的壓力變化；廣泛應用于集成電路、封裝、半導體照明、功率半導體、化合物半導體等領(lǐng)域。
查看詳細介紹
反應腔室壓力控制器(Exhaust Pressure Controller，簡稱 EPC)用于對氣體的壓力進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。
查看詳細介紹
LPT100 液體壓力傳感器是一款為半導體技術(shù)發(fā)展需求而研制的高精度耐腐蝕的產(chǎn)品，主要應用于集成電路濕法制程中的CMP、清洗等設(shè)備上。
查看詳細介紹
